Fotolithografie: Grundlagen der Mikrostrukturierung
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Auf dem Weg vom Wafer zum fertigen mikrostrukturierten Bauteil greifen zahlreiche Prozessschritte in komplexer Weise ineinander. Deren Optimierung erfordert eingehende Kenntnisse der physikalischen und chemischen Wechselwirkungen beteiligter Prozessparameter. Dieses Buch möchte Ihnen als angehende oder bereits erfahrene Lithografen dieses Wissen anwendungsorientiert vermitteln.
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